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发明名称 METHOD FOR FORMING METAL PLUG
摘要
申请公布号 JPH0645462(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920197922 申请日期 1992.07.24
申请人 SONY CORP 发明人 TSUKAMOTO HIRONORI
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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