| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING TAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0645405(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19910145391 |
申请日期 |
1991.05.21 |
| 申请人 |
SHINKAWA LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
SATO KIMIHARU;BANDO AKIO;OKAMOTO MICHIO;MITSUI KAZUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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