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发明名称 METHOD FOR GENERATING PLASMA AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0645097(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19930072674 申请日期 1993.03.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKUNI MITSUHIRO;TAMAOKI NORIHIKO;KUBOTA MASABUMI;NOMURA NOBORU;FUKUTO KENJI;NAKAYAMA ICHIRO
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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