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发明名称 FILM CARRIER TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0645395(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920193591 申请日期 1992.07.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OHIRA HIROYUKI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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