| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR WIDE-RANGE CONTROL OVER GAS FLOW RATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0643941(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19920199369 |
申请日期 |
1992.07.27 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
AIZAWA HITOSHI;KAWAHARA MASAHIRO;ITO TOSHIO |
| 分类号 |
G01F1/66;G01F15/02;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 |
主分类号 |
G01F1/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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