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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE AND SAMPLE HOLDER THERFOR
摘要
申请公布号 JPH0644936(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19930128688 申请日期 1993.05.31
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 KOBAYASHI HIROYUKI;UENO TAKEO;TOMITA MASAHIRO
分类号 H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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