| 发明名称 |
CHARGE BEAM PROCESSING DEVICE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0644941(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19930053965 |
申请日期 |
1993.03.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAMAMURA YUICHI;SHIMASE AKIRA;AZUMA JUNZO;MIZUMURA MICHINOBU;ITO FUMIKAZU;HARAICHI SATOSHI;YAMADA TOSHIO;KOIZUMI YASUHIRO |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/30;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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