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发明名称 SLOW POSITION GENERATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0644934(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920195205 申请日期 1992.07.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA HIROBUMI
分类号 G21K1/00;G21K5/04;G21K5/08;H01J37/06;H05H6/00;(IPC1-7):H01J37/06 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
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