发明名称 THIN TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE, MODULE STRUCTURE BODY USING THE SAME, AND MOUNTING METHOD OF THIS THIN TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0645501(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19930122726 申请日期 1993.05.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MASUDA MASACHIKA;WADA TAMAKI
分类号 H01L21/60;H01L23/50;H01L25/10;H01L25/11;H01L25/18;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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