| 发明名称 |
LASER ANNEALING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0645272(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19920193716 |
申请日期 |
1992.07.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKEHISA KIWAMU;YANO MAKOTO;KUWABARA KOJI;OGAWA KAZUHIRO;MIKAMI YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/268;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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