发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0645522(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920199339 申请日期 1992.07.27
申请人 NEC CORP 发明人 IMAMURA HIROTAKA
分类号 H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L27/082;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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