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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0645320(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920199333 申请日期 1992.07.27
申请人 NEC CORP 发明人 TORII YASUSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316;H01L29/784 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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