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经营范围
发明名称
VAPOR GROWING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0645264(A)
申请公布日期
1994.02.18
申请号
JP19920217214
申请日期
1992.07.23
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUMOTO TAKU
分类号
C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
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