发明名称 VAPOR GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0645264(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920217214 申请日期 1992.07.23
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO TAKU
分类号 C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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