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发明名称 EB TYPE IC TESTER
摘要
申请公布号 JPH0643223(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19930007273 申请日期 1993.01.20
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 KURATA TSUGIO;HIRAI YASUYUKI
分类号 G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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