发明名称 CONTROL VALVE FOR MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH0642663(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19910204937 申请日期 1991.07.19
申请人 RINTETSUKU:KK 发明人 ONO HIROFUMI
分类号 F16K31/02;(IPC1-7):F16K31/02 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
主权项
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