| 发明名称 |
METHOD FOR GENERATING PLASMA AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0645096(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19930072669 |
申请日期 |
1993.03.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NOMURA NOBORU;FUKUTO KENJI;TAMAOKI NORIHIKO;OKUNI MITSUHIRO;KUBOTA MASABUMI;NAKAYAMA ICHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
