| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0645255(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19920108298 |
申请日期 |
1992.03.17 |
| 申请人 |
COPAL ELECTRON CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA NAOKI;OIZUMI MAKOTO;FUKUDA MITSUHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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