发明名称 OPTICAL INTERFERENCE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0642910(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920200033 申请日期 1992.07.27
申请人 SHARP CORP 发明人 YOSHIDA YOSHIO;NAKADA YASUO;MIYAKE TAKAHIRO;KAMIYAMA TETSUO;SATO HIDEO;KURATA YUKIO
分类号 G01B9/02;G01K11/12;G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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