METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM WRITING,申请号JP19920195254-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM WRITING
摘要
申请公布号	JPH0645236(A)	申请公布日期	1994.02.18
申请号	JP19920195254	申请日期	1992.07.22
申请人	JEOL LTD	发明人	OKI HIROBUMI
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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