Vorrichtung mit flachem Suszeptor, der parallel zu einer Referenzfläche um eine Achse lotrecht zu dieser Fläche rotiert.,申请号DE19873786692T-传众专利搜索

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发明名称	Vorrichtung mit flachem Suszeptor, der parallel zu einer Referenzfläche um eine Achse lotrecht zu dieser Fläche rotiert.
摘要
申请公布号	DE3786692(T2)	申请公布日期	1994.02.17
申请号	DE19873786692T	申请日期	1987.03.16
申请人	N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL	发明人	FRIJLINK, PETER MICHAEL SOCIETE CIVILE S.P.I.D., F-75007 PARIS, FR
分类号	H01L21/205;C23C16/44;C30B25/02;C30B25/12;(IPC1-7):C30B25/12	主分类号	H01L21/205
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