| 发明名称 |
TRANSFER OF WAFER AND INTEGRATED CIRCUIT STATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0640517(A) |
申请公布日期 |
1994.02.15 |
| 申请号 |
JP19930046733 |
申请日期 |
1993.03.08 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
SESHIRU JIEI DEEBISU;TEIMOSHII EI UURUDORITSUJI;DOYUAN II KAATAA;JIYON II SUPENSAA;ROBAATO MACHIYUUZU;RANDOORU SHII HIRUDENBURANDO |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/08;B65G1/00;B65G1/02;B65G1/04;B65G1/07;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/56;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):B65G1/04 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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