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发明名称 VACUUM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0639270(A) 申请公布日期 1994.02.15
申请号 JP19930024489 申请日期 1993.02.12
申请人 BALZERS AG 发明人 GUREGOORU SHIYUTORATSUSEE;PIUSU GUUTO;IERUKU SHIYUTAINMAN;ROMAN SHIERUTORAA
分类号 B01J3/00;B01J3/02;B01J19/00;C09K3/10;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B01J3/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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