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发明名称 PHOTO-CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0641752(A) 申请公布日期 1994.02.15
申请号 JP19920217400 申请日期 1992.07.24
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 TAKE MASAYUKI;SATO MASAMITSU;UCHIDA HIROTO;OGI KATSUMI
分类号 B01J19/12;C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
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