发明名称 KANALIAVIMO KAMPO MATAVIMO BUDAS IR IRENGINYS
摘要
申请公布号 LT2477(B) 申请公布日期 1994.02.15
申请号 LTRP1314 申请日期 1993.09.29
申请人 KAUNO TECHNOLOGIJOS UNIVERSITETAS;JONELIUNAS,SIGITAS;PRANEVICIUS,LIUDVIKAS;RAGAUSKAS,ARMINAS 发明人 JONELIUNAS,SIGITAS;PRANEVICIUS,LIUDVIKAS;RAGAUSKAS,ARMINAS
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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