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发明名称 APPAREIL DE DEPOSITION CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR PAR PLASMA A MICRO-ONDES
摘要
申请公布号 FR2639474(B1) 申请公布日期 1994.02.11
申请号 FR19890015429 申请日期 1989.11.23
申请人 CANON KK 发明人 JINSHO MATSUYAMA
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/365 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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