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发明名称 Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums in einem Vakuumsystem
摘要
申请公布号 CH439570(A) 申请公布日期 1967.07.15
申请号 CH19640014794 申请日期 1960.03.29
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 LAWRENCE JEPSEN,ROBERT;TONY KING,LEONARD;MONT ROGERS,RENE
分类号 C01B31/08;F04B37/08;H01J9/38;H01J9/385;H01J41/12 主分类号 C01B31/08
代理机构 代理人
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