| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF DIAMOND-LIKE CARBON THICK FILM AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0633239(A) |
申请公布日期 |
1994.02.08 |
| 申请号 |
JP19920213535 |
申请日期 |
1992.07.16 |
| 申请人 |
SAMUKO INTERNATL KENKYUSHO:KK |
发明人 |
TSUJI OSAMU |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C30B25/02;C30B29/04;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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