| 发明名称 |
MICRO-TIP AND INTER-ATOMIC FORCE MICROSCOPE DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0634361(A) |
申请公布日期 |
1994.02.08 |
| 申请号 |
JP19920209425 |
申请日期 |
1992.07.15 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
IKEDA TSUTOMU;TAKAMATSU OSAMU;KAWASE TOSHIMITSU;KASANUKI YUJI;KAWADA HARUNORI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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