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发明名称 SURFACE CONDITION INSPECTOR
摘要
申请公布号 JPH0634560(A) 申请公布日期 1994.02.08
申请号 JP19920216398 申请日期 1992.07.21
申请人 CANON INC 发明人 KONO MICHIO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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