| 发明名称 |
POLARIZATION ANALYSIS METHOD AND ELLIPSOMETER BASED ON IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0634523(A) |
申请公布日期 |
1994.02.08 |
| 申请号 |
JP19920194167 |
申请日期 |
1992.07.21 |
| 申请人 |
PHOTO DEVICE KK |
发明人 |
HIGASHIYA MITSURU;SEKINE KUNIO;KOGA MASAO;TOMITA CHITOMI |
| 分类号 |
G01J4/04;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 |
主分类号 |
G01J4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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