发明名称 FILM CLEANING PROCESS FOR WATER AND OPERATION OF THE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0631270(A) 申请公布日期 1994.02.08
申请号 JP19920215443 申请日期 1992.07.21
申请人 DAICEL CHEM IND LTD 发明人 URANO KOHEI;ASE TOMONOBU
分类号 B01D61/22;B01D63/02;C02F1/44;(IPC1-7):C02F1/44 主分类号 B01D61/22
代理机构 代理人
主权项
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