发明名称 SURFACE CLEANING USING A CRYOGENIC AEROSOL
摘要
申请公布号 KR940001024(B1) 申请公布日期 1994.02.08
申请号 KR19910009142 申请日期 1991.06.03
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 MCDERMOTT, WAYNE T.;OCKOVIC, RICHARD C.;WU, JIN-JANG;COOPER, DOGLUS W.;SCHWARZ, ALEXANDER;WOLFE, HENRY L.
分类号 H01L21/304;B08B3/12;B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/00;(IPC1-7):B08B5/02;H01L21/302;B05D1/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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