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经营范围
发明名称
SURFACE CLEANING USING A CRYOGENIC AEROSOL
摘要
申请公布号
KR940001024(B1)
申请公布日期
1994.02.08
申请号
KR19910009142
申请日期
1991.06.03
申请人
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.
发明人
MCDERMOTT, WAYNE T.;OCKOVIC, RICHARD C.;WU, JIN-JANG;COOPER, DOGLUS W.;SCHWARZ, ALEXANDER;WOLFE, HENRY L.
分类号
H01L21/304;B08B3/12;B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/00;(IPC1-7):B08B5/02;H01L21/302;B05D1/02
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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