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经营范围
发明名称
CRYOPUMP
摘要
申请公布号
JPH0633875(A)
申请公布日期
1994.02.08
申请号
JP19920191956
申请日期
1992.07.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ASHIDA YUTAKA
分类号
F04B37/08;F25B11/02;H01L39/04;(IPC1-7):F04B37/08
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
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