| 发明名称 |
FILM THICKNESS MONITORING METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0634328(A) |
申请公布日期 |
1994.02.08 |
| 申请号 |
JP19920212252 |
申请日期 |
1992.07.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
TANIGUCHI YOSHINORI;IMAI TAKAHIRO;FUJIMORI NAOHARU |
| 分类号 |
G01B11/06;G01J5/00;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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