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发明名称 MANUFACTURE OF PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH0627142(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920178409 申请日期 1992.07.06
申请人 DATA PUROOBU:KK 发明人 YOSHIDA KOICHI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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