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发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0629247(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920205909 申请日期 1992.07.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 DEGUCHI YOICHI
分类号 C23C16/50;C23C16/509;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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