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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF TEMPERATURE RADIATION BY PYROMETER
摘要
申请公布号
JPH0629365(A)
申请公布日期
1994.02.04
申请号
JP19910117377
申请日期
1991.05.22
申请人
ANTERUYUNIBERUSHITEELE MICRO EREKUTORONIKA SANTORIYUMU BUEE ZETSUDO DOUBURUBUE
发明人
PEETAA MITSUSHIERU NOERU BUANDENABEERE;KAREN IRUMA YOSEFU MAETSUKUSU
分类号
G01J5/00;G01J5/52;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01J5/00
代理机构
代理人
主权项
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