发明名称 GUIDE MASK TYPE PROBE BOARD
摘要
申请公布号 JPH0629359(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920201806 申请日期 1992.07.07
申请人 TOHO DENSHI KK 发明人 SAITO KIMIYOSHI
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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