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发明名称
GUIDE MASK TYPE PROBE BOARD
摘要
申请公布号
JPH0629359(A)
申请公布日期
1994.02.04
申请号
JP19920201806
申请日期
1992.07.07
申请人
TOHO DENSHI KK
发明人
SAITO KIMIYOSHI
分类号
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
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