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发明名称 PROJECTION TYPE ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH0629187(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920184837 申请日期 1992.07.13
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAI TATSUO
分类号 G03F7/207;G03F7/20;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/207
代理机构 代理人
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