发明名称 PROCESSING DEVICE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0629269(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920183711 申请日期 1992.07.10
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MURAKAMI TAKEHIRO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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