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经营范围
发明名称
PROCESSING DEVICE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0629269(A)
申请公布日期
1994.02.04
申请号
JP19920183711
申请日期
1992.07.10
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
MURAKAMI TAKEHIRO
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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