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发明名称 ELECTRON BEAM EXCITING ION IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0628991(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19910274960 申请日期 1991.09.27
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO;KAWASAKI HEAVY IND LTD 发明人 HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU;YAMADA TAKESHI;RIYUUJI MAKOTO;TOKAI MASAKUNI;KAJIYAMA YOUSUKE
分类号 G21C5/04;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 G21C5/04
代理机构 代理人
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