| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING INTERFERENCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0626830(A) |
申请公布日期 |
1994.02.04 |
| 申请号 |
JP19920185393 |
申请日期 |
1992.07.13 |
| 申请人 |
SANKYO SEIKI MFG CO LTD |
发明人 |
SHIBA KAZUO;HIGASHIURA KAZUO |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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