发明名称 SELECTIVE EPITAXIAL METHOD OF SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH0629215(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19910268528 申请日期 1991.09.20
申请人 CENTRE NATL ETUD TELECOMMUN <PTT> 发明人 ROZETSUTO AZURA;RUISU DEYUGURAN
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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