MASS-FLOW CONTROLLER,申请号JP19920207174-传众专利搜索

发明名称	MASS-FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号	JPH0628040(A)	申请公布日期	1994.02.04
申请号	JP19920207174	申请日期	1992.07.10
申请人	SONY CORP	发明人	SAKAI CHIAKI
分类号	B01J4/00;C23C16/52;G05D7/06;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G05D7/06	主分类号	B01J4/00
代理机构		代理人
主权项
地址