发明名称 VERTICAL-DIRECTION INTEGRATED SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0629307(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19930057921 申请日期 1993.02.23
申请人 MOTOROLA INC 发明人 JIYON TEI FUITSUCHI;KARUROSU EI MAZUUA;KIISU II UITETSUKU;JIEIMUZU DEI HAIDEN
分类号 H01L21/8249;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/822;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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