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发明名称 PROCEDE DE PREPARATION D'UN ELEMENT DE CIBLE POUR PULVERISATION CATHODIQUE ET CIBLES, NOTAMMENT DE GRANDE SURFACE, REALISEES A PARTIR DE CET ELEMENT.
摘要
申请公布号 FR2685011(B1) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 FR19910015537 申请日期 1991.12.13
申请人 ELF AQUITAINE STE NALE 发明人 CAMPET GUY;BOURREL MAURICE;DELMAS CLAUDE;PORTIER JOSEPH;SALARDENNE JEAN
分类号 C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/10 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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