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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0629446(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920179974 申请日期 1992.07.07
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 YUASA YASUMASA
分类号 H01L21/52;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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