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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH0629292(A)
申请公布日期
1994.02.04
申请号
JP19920179989
申请日期
1992.07.07
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
OGUCHI AKEMI
分类号
H01L21/28;C25D5/02;C25D5/34;C25D7/12;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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