发明名称 FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR940000874(B1) 申请公布日期 1994.02.03
申请号 KR19900015244 申请日期 1990.09.26
申请人 HITACHI LTD. 发明人 TAMURA, HITOSHI;SHIMIZU, TOMOTSU
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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