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发明名称 VERFAHREN ZUR BESEITIGUNG MAKROSKOPISCHER DEFEKTE AUF METALLISCHEN OBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DD254600(B5) 申请公布日期 1994.02.03
申请号 DD19860297613 申请日期 1986.12.15
申请人 HVD-HOCHVAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH,DE 发明人 RUDOLPH,DIETER,DIPL.-ING.,DE;HOFMANN,HANSGEORG,DR.RER.NAT.,DE;RICHTER,FALK,DR. RER. NAT.,DE
分类号 C23C18/16;(IPC1-7):C23C18/16 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
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